原生衬底层:为晶圆的本体结构,材料包括单晶硅、碳化硅、氮化镓等,是整个晶圆的机械支撑基础

📅 2026-11-11 👤 教师编通过率 📂 健康新闻 👁️ 238 次阅读

安世半导体的晶圆制造分工明确。其全球布局中,欧洲工厂(德国、英国)负责晶圆制造,中国工厂(东莞、无锡)负责封装测试。

安世半导体最主要、最核心的晶圆基地位于中国广东东莞,拥有庞大的晶圆厂,负责生产绝大部分芯片。

英国曼彻斯特保留了原来恩智浦的晶圆厂,会生产一部分芯片,特别是某些需要特殊工艺或作为产能补充的产品。

安世半导体上海公司生产晶圆,且正常工作,有自有12英寸晶圆产能,并得到国内供应链支持。

近期,安世半导体面临供应问题。10月26日起,其暂停向广东东莞工厂供应晶圆,安世中国子公司正加速转向国内晶圆供应商,如无锡新洁能、杭州士兰微电子、扬州扬杰电子以及上海鼎泰匠芯等。其中,上海鼎泰匠芯投资120亿元在上海建设的12英寸晶圆厂受关注,规划月产能达10万片,分三期建设,一期月产能4.5万片,技术节点涵盖0.18微米和0.11微米制程。不过,其一期产能低于安世德国汉堡工厂,短期内难以完全弥补供应缺口。安世中国已制定多项应急计划,拥有充足库存,正加快对新晶圆供应商的认证工作,预计从2026年起可无缝满足客户需求。

半导体晶圆的底部(背面)结构主要分为支撑基底、背面金属布线层、背面钝化层、功能性适配层四大类,不同制程场景下会额外增加临时支撑层或定制化功能结构。

1.原生衬底层:为晶圆的本体结构,材料包括单晶硅、碳化硅、氮化镓等,是整个晶圆的机械支撑基础。常规12英寸硅晶圆原生厚度为775μm,薄晶圆制程会通过背面减薄工艺将厚度降至20~100μm。

2.临时支撑层:针对薄晶圆制程,在完成背面减薄或背面制程后,通过聚合物粘接层将晶圆与玻璃支撑片临时结合,避免晶圆变形碎裂,后续封装前会剥离该支撑层。

1.通用型背面金属层:多采用钛/镍/金或钛/铜的叠层结构,总厚度通常为5~15μm,用于实现晶圆背面的电学导通,适配后续的植球、封装焊接工艺,同时作为辅助散热层传递芯片工作产生的热量。

2.功率器件专用背面金属层:针对IGBT、MOSFET等功率器件,会加厚背面金属层作为漏极电极,厚度可达30~50μm,提升大电流承载能力。

1.基础防护层:多采用氮化硅、氧化硅或聚酰亚胺涂层,厚度为0.5~2μm,用于隔绝水汽、杂质污染背面金属与衬底,避免发生电化学反应或性能衰减。

2.开窗预留区:部分制程会在钝化层预设开窗区域,露出背面金属层,用于后续探针测试、焊接或散热界面材料贴合。

1.散热增强层:高功率器件晶圆背面会沉积金刚石、石墨烯等高导热涂层,热导率可达1000W/(m·K)以上,大幅提升散热效率。

2.封装粘接层:晶圆级封装场景下,背面会涂覆导电胶或非导电胶,用于将晶圆与封装基板、散热底座粘接固定。

3.光刻对准标记:背面会制作高精度光刻对准标记,用于后续封装制程中的对位校准,提升封装精度。

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